真空檢漏箱是一種用于檢測產(chǎn)品或設(shè)備在真空狀態(tài)下的泄漏情況的專用設(shè)備。在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中，特別是在半導(dǎo)體、光電、航空航天、精密儀器等領(lǐng)域，對于產(chǎn)品密封性能的要求非常高，任何微小的泄漏都可能導(dǎo)致產(chǎn)品性能下降甚至失效。因此，真空檢漏箱的應(yīng)用顯得尤為重要。

一、真空檢漏箱的工作原理

真空檢漏箱的工作原理基于氣體分子在真空狀態(tài)下的擴(kuò)散和滲透特性。當(dāng)被檢測的產(chǎn)品或設(shè)備被放入真空檢漏箱內(nèi)后，檢漏箱首先會通過抽氣系統(tǒng)將被測空間內(nèi)的氣體抽出，形成一個接近真空的環(huán)境。然后，檢漏箱會向被測空間內(nèi)注入一定量的示蹤氣體（通常是氦氣），示蹤氣體會通過被測產(chǎn)品或設(shè)備的泄漏點(diǎn)進(jìn)入真空環(huán)境。接著，檢漏箱會使用高精度的檢測儀器檢測示蹤氣體的濃度和分布情況，從而確定泄漏點(diǎn)的位置和泄漏量的大小。

二、真空檢漏箱的主要組成部分

真空檢漏箱主要由以下幾個部分組成：

1. 真空腔體：真空腔體是真空檢漏箱的主體部分，用于容納被檢測的產(chǎn)品或設(shè)備。真空腔體通常采用不銹鋼等耐腐蝕、高強(qiáng)度的材料制成，以確保在抽真空和注入示蹤氣體過程中不會發(fā)生變形或泄漏。
2. 抽氣系統(tǒng)：抽氣系統(tǒng)包括真空泵、真空計(jì)和管道等部分，用于將被測空間內(nèi)的氣體抽出，形成真空環(huán)境。真空泵的選擇要根據(jù)被測空間的體積和泄漏檢測的要求來確定，以確保在合理的時間內(nèi)達(dá)到所需的真空度。
3. 示蹤氣體注入系統(tǒng)：示蹤氣體注入系統(tǒng)用于向被測空間內(nèi)注入一定量的示蹤氣體。注入的示蹤氣體量要根據(jù)被測產(chǎn)品或設(shè)備的泄漏檢測要求來確定，以確保能夠準(zhǔn)確地檢測出泄漏點(diǎn)。
4. 檢測儀器：檢測儀器是真空檢漏箱的核心部分，用于檢測示蹤氣體的濃度和分布情況。檢測儀器通常采用質(zhì)譜儀、氦質(zhì)譜檢漏儀等高精度儀器，能夠準(zhǔn)確地檢測出泄漏點(diǎn)的位置和泄漏量的大小。
5. 控制系統(tǒng)：控制系統(tǒng)用于控制真空檢漏箱的各個部分的工作狀態(tài)，確保整個檢測過程的準(zhǔn)確性和可靠性。控制系統(tǒng)通常包括電氣控制柜、觸摸屏等部分，方便用戶進(jìn)行操作和監(jiān)控。

三、真空檢漏箱的應(yīng)用領(lǐng)域

真空檢漏箱廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域：

1. 半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體制造過程中，需要對芯片、封裝等部件進(jìn)行嚴(yán)格的密封性能檢測，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。真空檢漏箱是半導(dǎo)體制造過程中的設(shè)備之一。
2. 光電產(chǎn)業(yè)：光電產(chǎn)品對密封性能的要求也非常高，如LED、LCD等產(chǎn)品的制造過程中都需要使用真空檢漏箱進(jìn)行泄漏檢測。
3. 航空航天：因?yàn)槿魏挝⑿〉男孤┒伎赡軐?dǎo)致嚴(yán)重的后果。真空檢漏箱在航空航天領(lǐng)域的應(yīng)用非常廣泛，如飛機(jī)、火箭等產(chǎn)品的泄漏檢測。
4. 精密儀器：精密儀器對密封性能的要求也非常高，因?yàn)樾孤绊憙x器的精度和穩(wěn)定性。真空檢漏箱是精密儀器制造過程中的設(shè)備之一。

四、真空檢漏箱的技術(shù)參數(shù)

規(guī)格型號： HE-VL-500 HE-VL-600 HE-VL-800 HE-VL-1000

內(nèi)箱尺寸(mm)： 500×500×500、 600×600×600、 800×800×800、 1000×1000×1000

水槽尺寸(mm)： 400×400×400、 500×500×500、 700×700×700、 900×900×900

外形尺寸(mm)： 680×670×1410 800×760×1530 1020×970×1720 1260×1560×1750

真空泵： 2XZ-4 XD-40

總功率： 1.5KW 3.0KW

使用電源： AC 單相 三線 220V 50HZ AC 三相 五線 380V 50HZ

真空度范圍： 0～-100KPa

控制方式： 按鍵式控制或PLC觸摸屏控制

結(jié)構(gòu)： 一體式結(jié)構(gòu)（內(nèi)置真空泵）或分體式（外置真空泵）

內(nèi)箱材質(zhì)： SUS304#不銹鋼

外箱材質(zhì)： SECC鋼板高級烤漆處理

真空檢漏箱是一種重要的工業(yè)檢測設(shè)備，在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中發(fā)揮著不可替代的作用。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和應(yīng)用領(lǐng)域的不斷拓展，真空檢漏箱的發(fā)展前景將更加廣闊。